Crossing Automation公司 (近来宣告，现已进步公司的Spartan设备前端模块（EFEM）的功能，将其每小时的加工能力进步至450张晶圆。改善规划的意图是满意高通量半导体制作工艺如剥离/去胶、清洗和离子注入的需求。因为具有专有的晶圆机常压机器人，改善后的Spartan EFEM可在不到2.5秒的时间内以最快的速度进行晶圆切换，完成100%的工艺设备利用率。
“使设备出产能力最大化是设备供货商的中心竞赛优势，一起也为IC制作商们下降设备的具有本钱，”Crossing Automation的产品营销副总裁May Su标明，“对那些具有每小时加工数百片晶圆的出产能力、但却因现有的常压机器人技能而无法开足产能的设备来说特别重要。经过晋级Spartan现已出产查验的核算晶圆运动途径的软件算法，咱们现在可以让一切能经过商业手法购买到的EFEM发挥出最大产能，一起还能保持Spartan现有的可靠性和清洁度功能。”
增强版Spartan EFEM现已过某抢先的剥离设备供货商的认证，并标明在现有的EFEM技能的技能根底大将加工能力进步了20%。此次实践出产验证Spartan渠道的装置基数超越1000件，上线%。
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